極めて滑らかな平面の研磨

表面粗さRMS１Å以下の極めて滑らかな平面の研磨が可能です。Zygo NewView7300での測定値となります。産総研に測定を依頼しながら表面粗さが極めて小さな基板の研磨技術を研究しています。

NewView7300

写真、検査証明書、zygoのトレーサビリティ体系図

研磨例1

石英 RMS 0.827Å

研磨例2

サファイア RMS 0.909Å

研磨例3

蛍石 RMS 0.873Å