テクニカルが世界に誇る平面研磨技術
当社は、国立研究開発法人産業技術総合研究所との共同研究によって、Φ100mm の90%でλ/100 の平面基準原器を保有しております。これにより当社で製作した製品の面精度は極めて高い精度での保証が可能となりました。
産業技術総合研究所との共同研究紹介
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超高精度平面製作技術
産総研との共同研究によって、Φ100mmの90%でλ/100の平面基準原器を保有しております。
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超高精度角度測定器
産総研様の技術であるSelfAテクノロジーを用いた装置を製作し、±0.2秒以下の角度精度での加工が可能となりました。
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表面品質比較判断プレート(外観検査用)
表面品質比較判断プレートのスクラッチの線幅とディグの直径を産総研に測定していただいた結果を掲載しております。
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極めてなめらかな表面研磨技術
産総研に測定を依頼しながら表面粗さが極めて小さな基板の研磨技術を研究しています。
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平面形状測定装置SDP
NEDOの助成を受け、産総研で開発されたSDPを導入しました。より確かな測定が可能となるよう共同研究を継続しています。