トレーサビリティを確保した高精度な測定器による保証
当社が保有する主要な測定器は国立研究開発法人 産業技術総合研究所との共同研究を通じて、国家標準とのトレーサビリティを確保しております。また、その他の測定器類もメーカーでの校正もしくは、校正を受けたスケール等で校正を行うことで、お客様に信頼性の高い製品をお納めすることができます。
面精度
高精度の面精度の測定は、国立研究開発法人 産業技術総合研究所との共同研究の成果であるλ/100（PV値＝6.328nm）の基準原器を装着したZygo社のフィゾー干渉計で行います。これにより、信頼性の高い極めて高精度な測定が可能です。
トレーサビリティ体系図
国立研究開発法人 産業技術総合研究所 計量標準総合センター
平面度校正用フィゾー干渉計 国家標準器
株式会社テクニカル
Φ90mm λ／100 基準原器
器物番号：TF4-00001
株式会社テクニカル
フィゾー干渉式平面測定システム Zygo社 Verifire XPZ
製造番号：12-26-653137
国立研究開発法人 産業技術総合研究所との共同研究「極めて平坦な平面ガラス基板を開発」
角度
超高精度角度測定は産総研の特許技術を使用したSelfAとトライオプティクス社製オートコリメーター（±0.2秒）で測定（±0.2秒以下を測定）します。
SelfA（自己校正型角度測定装置）の詳しい説明は以下をご覧ください。
エ・モーションシステム株式会社
トレーサビリティ体系図
国家研究開発法人 産業技術総合研究所 計量標準総合センター
国家標準器（角度：ロータリーエンコーダー）
ロータリーエンコーダ
ハイデンハイン製：RON905
シリアル番号：54 330 478 D
信号変換ユニット：EXE602E
株式会社テクニカル
自己校正式角度測定器 SCMS-107
エ・モーションシステム(株)
シリアル番号：EMS-15128-1610-01
測定結果
| 校正対象 | エ・モーションシステム株式会社製 自己校正式角度測定器 SCMS-107 シリアル番号 EMS‐15128‐1610‐01 |
|---|---|
| 校正項目 | 角度 |
| 校正方法 | ロータリーエンコーダーを用いた比較校正 |
| 参照標準 | ハイデンハイン製ロータリーエンコーダー：RON905 （シリアル番号：54 330 478 D, 信号変換ユニット：EXE602E） |
| 校正室の環境条件 | 温度20℃±0.5℃ |
| 校正年月日 | 2017年5月22日 |
| 測定結果 | 下図の通り |
| 拡張不確かさ | 0.2秒 |
校正の不確かさは拡張不確かさであり、包含係数k=2で決定され、約９５％の信頼の水準をもつと推定される区間を定める。
(株)テクニカル校正証明書
国立研究開発法人 産業技術総合研究所 ハイデンハイン ロータリーエンコーダRON905（シリアル番号54 330 478D） の校正結果報告書