極めて滑らかな平面を持つ基板の製作が可能
表面粗さは表面の滑らかさを表す用語です。表面の微細な凹凸を表します（参考：JIS B0090-8の附属書A）。当社では表面粗さがRa≦１Åの極めてなめらかな表面を持つ基板を製作することが可能です。
加工できる表面粗さについて
「微少欠陥による光学的平滑面の規定」に研磨段階P1～P4として記載されています。以下の表面粗さはZygo社製三次元構造解析顕微鏡NewView7300での値となります。また材質によって、加工できる表面粗さが違いますので、詳しくはお問い合わせください.
| 超高精度 | 1.0Å（rms）以下 1.0Å（ra）以下 |
|---|---|
| 高精度 | ～3.0Å（rms） ～2.5Å（ra） |
| 標準精度 | ～5.0Å（rms） ～4.0Å（ra） |
JIS B0090-8の附属書A 「微少欠陥による光学的平滑面の規定」
海外製品などの「肌面」の指定がある場合は、当社ではこの規格を採用して表面粗さを決めています。
| 研磨段階の呼び方 | 表面粗さRMS （単位μm） |
|---|---|
| P1 | ≦0.008 |
| P2 | ≦0.004 |
| P3 | ≦0.002 |
| P4 | ≦0.001 |
表面粗さの測定
表面粗さの測定は、Zygo社製三次元構造解析顕微鏡 NewView7300で行います。
Zygo NewView7300の仕様
| 垂直分解能 | 0.1nm以下（全ての対物レンズで共通） |
|---|---|
| 垂直測定範囲 | 1nm～20,000μｍ |
| 垂直走査速度 | 標準モード15μm／秒（640×480画素）、高速モード135μm／秒（640×480画素） |
| 段差測定正確性 | 0.75％未満 |
| 段差測定再現性 | 0.1％以下（1σ） |
| rms値測定再現性 | 0.01nm以下（1σ） |
| 最大測定領域 | 0.04mm×0.03mm～ φ21.9mm（対物レンズとカメラによる）※Stitching機能で150mm×150mmまで拡大可能 |
| ズーム倍率 | 0.5×，0.75×，1.0×，1.5×，2.0×から3点電動切り替え |
| デジタルCCDカメラ | 640×480（標準） |
Zygoトレーサビリティ体系図と検査証明書
