超高精度角度測定 測定精度±0.2秒（0.000056度）

プリズムの角度は、非常に高精度な角度測定をしてお納めすることが可能です。角度は大きく分けてプリズムの面と面の角度と平行平面基板の平行度やウェッジ角度を表す際に使います。

角度測定機器一覧

• 1. 超高精度 ±0.5秒

  超高精度角度測定器 SelfA

  産総研の技術であるSelfAテクノロジーを用いたエンコーダーを内蔵した回転テーブルと超高精度オートコリメーターを組み合わせた装置を製作し、国家角度標準器と同じ自己校正を行うことにより角度精度±0.2秒以下での角度測定を可能としました。この測定器により±0.5秒以下の角度精度での加工が可能となりました。SelfAで測定しなければならないような微小な角度の測定の場合は面精度も影響します。当社では角度測定の際には測定対象の面同士の中心で測定を行っております。

  

  当社のSelfAで測定出来る精度±0.2秒とはどんな角度なのでしょうか。

  4km先の高さ4mmの米粒を確認できる角度になります。

  

  詳しくは トレーサビリティのページをご覧ください。

  産総研の角度国家標準器技術

  産業技術総合研究所、工学計測標準研究部門で開発された角度国家標準器（写真）は、等分割平均法を用いた角度の自己校正法に基づく角度校正原理により、ロータリーエンコーダーを不確かさ0.01秒で高精度に校正する能力があります。産総研ではこの原理を組み込んだインテリジェントなロータリーエンコーダーが、自己校正機能付きロータリーエンコーダー「SelfA」として開発されました。SelfAは、角度誤差を自ら検出し補正することで不確かさ0.1秒の精度が可能です。

  産業技術総合研究所はアメリカ国立標準技術研究所（NIST）やドイツ国家標準研究機関（PTB）などと並び、世界の主要な国家標準機関です。世界レベルの標準規格の連携を取っています。

  

  

• 2. 高精度 ±3秒

  オートコリメーター＋ロータリーエンコーダ

  HEIDENHAINロータリーエンコーダとオートコリメータを使用し、分解能0.36秒、測定保証値1～2秒の高精度角度測定器で測定します。

  

• 3. 標準精度 ±10秒

  オートコリメータ基準角度プリズムとの比較測定

  ニコンのオートコリメータを使用して測定します。

  

• 4. 標準精度（平行度） ±5秒

  オートコリメーター

  

• 5. 高精度（平行度） ±1秒

  レーザー干渉計

  

• 6. ピラミダル ±5秒

  オートコリメータ

  

  詳しくは ピラミダルのページをご覧ください。