平面基板

テクニカルだけの平面研磨技術

Zygo NEWVIEW7300を用いて測定したRMS 0.871Åという極めて滑らかな平面の研磨はテクニカルだけの技術です。一般光学ガラス、合成石英、水晶、シリコン等の平面基板を製作します。

INDEX

1.テクニカルの平面基板
2.表面粗さRMS１Å以下
3.加工寸法

テクニカルの平面基板

一般光学ガラス、合成石英、水晶、シリコン等の平面基板を製作します。Φ600 ㎜の大型平面基板の製作が可能です。

測定器はZygo社の12インチλ/20のレーザー干渉計をはじめ、産総研との共同研究成果の6インチ90%λ/60基準原器、4インチ90％λ/100基準原器を搭載したレーザー干渉計などの超高精度測定器で確実な品質保証をいたします。
また、両面ポリッシュ機も多数保有しており、平行平面基板は短納期で確実な品質保証でお納めすることができます。
Φ300mmの平行平面基板もZygo社の12インチλ/20干渉計で品質保証をして納品いたします。

表面粗さRMS１Å以下

Zygo NEWVIEW7300を用いて測定しRMS 0.871Åという極めて滑らかな平面の研磨に当社で初めて成功しました。

加工寸法

※材質により加工可能な寸法が変わります。詳しくは、お問い合わせください。

片面ポリッシュ

加工形状	Φ0.15㎜～Φ600㎜
寸法公差	外周公差±0.01㎜～（厚み公差±0.001㎜以下）
平行度	±1秒以下
面精度	Φ90㎜の範囲内にてλ/100（測定値） Φ150㎜の範囲内にてλ/60（測定値） Φ300mmの範囲内にてλ/20（測定値）
表面粗さ	1Å（rms）～
外観規格	スクラッチ　1μm～ディグ　5μm～
硝材	一般光学ガラス、合成石英、サファイア、水晶、ルビー、ジルコニア、セラミック、YAG、蛍石、シリコン、ゲルマニウム、フッ化マグネシウム等

両面ポリッシュ機

加工形状	Φ15㎜～Φ360㎜
寸法公差	外周公差±0.01㎜～（厚み公差±0.001㎜以下）
平行度	±1秒以下
面精度	Φ90㎜の範囲内にてλ/4～ Φ150㎜の範囲内にてλ/2～ Φ300mmの範囲内にてλ/3～
表面粗さ	6Å（rms）～
外観規格	スクラッチ　3μm～ディグ　5μm～
硝材	一般光学ガラス、合成石英、シリコン