恒温室20℃±0.5℃常時設定
一年を通して20℃±0.5℃に保たれた恒温室と、最高品質かつ最高精度の測定機器でお客様に信頼の高いデータをお出しいたします。
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測定できるから加工ができる
精密加工業界には「測定できないものは作れない」という言葉があります。
当社は測定の国家基準を司る産業技術総合研究所との共同研究で、今までに無かった世界最高水準の測定器を完備しています。これら国家標準とのトレーサビリティを繋いだ各種測定器を使用することで「測定できるから加工ができる」を実践し、高精度な品質保証に伴う新しい製造技術の開発に挑戦しています。
恒温室の温度を世界の公的機関と同じ20℃±0.5℃に常時設定してあります。
光学部品はÅオーダー（1mm の10000000 分の一）を測定するため、温度による膨張なども問題となります。当社では一年を通して20℃±0.5℃に保たれた恒温室を保有しており、面精度や表面粗さなどの精密な測定はこの恒温室に設置されている測定機器で測定しております。お客様に信頼の高いデータをお出しすることができます。
保有測定機器
| 保有測定機器 | 台数 | 備考 |
|---|---|---|
| レーザー干渉計 | 7 | ZYGO 4台 フジノン 3台 |
| 表面解析装置 | 4 | |
| 表面粗さ測定器 接触式 | 1 | 東京精密 |
| 表面粗さ測定器 非接触式 | 2 | ZYGO 2台 |
| CNC画像処理装置 | 2 | |
| スペクトロメーター | 2 | |
| オートコリメーター | 13 | |
| 測定顕微鏡 ZKM | 1 | |
| 金属顕微鏡 | 1 | |
| 実体顕微鏡 | 12 | |
| 万能投影機 | 3 | |
| ひずみ計 | 1 | |
| SelfA 超高精度角度測定器 | 1 | |
| SDP 超高精度平面測定器 | 1 | |
| 比重計 | 1 | |
| レーザー変位計 | 1 | |
| ハイトゲージ | 2 | ニコン、ミツトヨ |
| 画像寸法測定器 | 4 | キーエンス IM6145 IM6020 IM7000 LM1000 |
| マイクロスコープ | 2 | キーエンス VHX5000 VHX7000 |
| 高さ・平面度測定器 | 1 | キーエンス HM-1000 |
| 3Dプリンター | 1 | |
| 紫外線照射装置 | 4 | |
| CAD・CAM | 2 | |
| 恒温室（20℃±0.5℃） | 1 |
レーザー干渉計4インチ用
- 基準原器：λ/100
(産総研との共同研究)
レーザー干渉計6インチ用
- 基準原器：λ/60
(産総研との共同研究)
レーザー干渉計12インチ用
- メーカー：Zygo 12インチ
- 基準原器：λ/20
レーザー干渉計12インチ用
- 透過波面測定用反射板
- メーカー：Zygo 12インチ
- 基準原器：λ/10
ダイナフレクトコート基準原器
- メーカー：Zygo 6インチ
- 基準原器：λ/40
金コート基板測定データ
キーエンス HM-1000（コントローラー）、HM-1200
- 測定領域：200×200×30mm
- 測定精度：±2μm
砂面の面精度（平面度）を測定します。
- 測定画面
SelfA超高精度角度測定器
- 国家標準器と同じ角度偏差を評価する自己校正機能内蔵
- 保証値：±0.2秒
（産業技術総合研究所の特許技術）
- メーカー：HEIDENHAINロータリーエンコーダー
- 分解能：0.36秒
- 測定保証値：1～2秒
オートコリメーター
- メーカー：Nikon 6D
- メーカー：Nikon 6D
（3方向同時測定）
キーエンスIM-6145
- 測定精度 ±0.1μm
- 測定範囲 φ25mm以下
キーエンスIM-6020
- 測定精度 ±5μm
- 測定範囲 Φ100mm以下
キーエンスIM-7000
- 測定精度 ±7μm
- 測定範囲 300×200mm
Nikon NEXIV VM-250
- 測定精度 ±0.1μm
- 測定範囲 250×200mm
測定顕微鏡 Carl zeiss ZKM01-250D
- 測定精度 0.1μm
- 測定範囲 250×125mm
マイクロメーター
- 測定精度：0.001mm
キーエンス デジタルマイクロスコープ VHX-5000
- スクラッチ幅 3μm以下
- ディグ径 10μm以下
Mitutoyoハイトゲージ
- 寸法精度 0.1μm
レーザー変位計 Panasonic HL-C2
- 寸法精度 1μm
表面品質比較判断プレート
表面品質比較判断プレート
- 寸法精度 0.1μm