面精度 λ/100(P-V 6.3nm)という極めて高精度な平面の製作
面精度(平面度)は研磨された表面が如何に平らになっているかを表す用語です。測定に使用するレーザー干渉計の基準原器は最高でλ/100 のものを保有しており、極めて高い面精度測定が可能です。
面精度測定機器
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1. 超高精度(φ90mm λ/100)
Apre GPI-XP 4インチレーザー干渉計
- 型式
- Apre GPI-XP
- 製造番号
- 97-45-65495
- 基準原器
- Φ90mm λ/100(産総研との共同研究の成果による)
Φ100mmレーザー干渉計基準原器と測定データ(ハウジングヘのポッティング後の面精度 産業技術総合研究所 測定)
産業技術総合研究所との共同研究によりΦ90mmでλ/100という超高精度の平面の製作に成功しました。
Zygoトレーサビリティ体系図と検査証明書
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2. 高精度(φ135mm λ/60)
Apre GPI-XP 6インチレーザー干渉計
- 型式
- Apre GPI-XP
- 製造番号
- 17-25-65385
- 基準原器
- Φ135mm λ/60(産総研との共同研究の成果による)
Φ100mmレーザー干渉計基準原器と測定データ(ハウジングヘのポッティング後の面精度 産業技術総合研究所 測定)
産業技術総合研究所との共同研究によりΦ135mmでλ/60という超高精度の平面の製作に成功しました。
Zygoトレーサビリティ体系図と検査証明書
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3. 標準精度(Φ300mm λ/20基準原器)
Φ300mmまでの大きさの基板の面精度を測定可能です。
※他社カタログ品上限Apre GPI-XP 12インチレーザー干渉計
- 型式
- Apre GPI-XP
- 製造番号
- 97-45-65495
- 基準原器
- Zygo Φ300mm λ/20
反射板
Zygoトレーサビリティ体系図と検査証明書
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4. ダイナフレクトコート基準原器(Φ150mm λ/40基準原器)
Φ150mmまでのアルミコート基板、金コート基板など反射率が高い基板の面精度を測定可能です。
Apre GPI-XP 6インチレーザー干渉計
- 型式
- Apre GPI-XP
- 製造番号
- 17-25-65385
- 基準原器
- Zygo φ150mm λ/40
Zygoトレーサビリティ体系図と検査証明書
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5. 研削面(の平面度)
砂面の面精度の測定にはキーエンスの高さ・平面度測定装置HM-1200を使用します。
平面度測定装置HM-1200
- 測定領域
- XYZ 200mm×200mm×30mm
- 測定精度
- 平面 ±2μm、段差 ±3μm
- スポット径
- 約Φ200μm
基板の形状と面精度の目安
有効面は基板の径の90%の範囲とします。
材質、厚み、均質性(透過波面)によって製作可能な面精度は変わりますので、詳しくはご相談ください。
反射波面 | 透過波面 | |
---|---|---|
Φ10mm | λ/50 | λ/50 |
Φ20mm | λ/50 | λ/50 |
Φ30mm | λ/50 | λ/50 |
Φ40mm | λ/50 | λ/50 |
Φ50mm | λ/50 | λ/50 |
Φ100mm | λ/40 | λ/20 |
Φ150mm | λ/40 | λ/20 |
Φ200mm | λ/20 | λ/10 |
λ/100の面精度とは
当社は、共同研究を通じ産業技術総合研究所での平面形状の評価をもとに非常に均質性の高い合成石英を使用した超高精度平面基準原器の研磨加工に取り組みました。
さらに研磨した平面基板の保持機構などを工夫することで、保持後の面精度の変形やたわみの発生を極力押えΦ100mmの90%でλ/100平面基準原器を製造し、測定保証をすることができるようになりました。
今後さらなる高精度な平面基準原器の製作を目指しております
恒温室での温度管理
高精度な測定器は世界の国家標準機関で採用されている20℃±0.5℃の恒温室に設置されています。さらに面精度を測定する干渉計は、空気の揺らぎの影響までも受けるため、外部の空気の揺らぎの影響を遮断するための保護ケースで覆われています。
レーザー干渉計の測定値と基板の本当の面精度の関係について
レーザー干渉計の基準原器の面精度と実測値との関係を以下にご説明します。
分かり易いように具体的な例でご説明します。
下の図は凹凸λ/10の基準原器で測定した測定結果が凹λ/10~凸λ/10だった場合の図となります。
この場合、基板の本当の面精度は基準原器の面精度を配慮すると、凹λ/5~凸λ/5の範囲だと考えられます。
このように考えると、レーザー干渉計で平面を測定した場合、厳密には基準原器の半分の面精度までしか保証できないことになります。