2018.01.15 トピックス

受賞案件「極めて平坦なガラス基板の開発」

直径9cmの範囲で凹凸差がわずか6.3nm以下の超高精度な平面を持つガラス基板の開発。現存する世界最高の平面基準原器の2.5倍の精度を持ち、その研磨技術は世界的にも革新的なものです。本技術は宇宙、医療関連といった超高度な精度を必要とする部品の高精度化に貢献します。